技术编号：7208901
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。相关申请的交叉引用本申请案主张由Kwon等人于公元2008年10月16日提出申请且发明名称为 "GAPFILL IMPROVEMENT WITH HIGH LOW ETCH RATE DIELECTRIC LINERS” 的美国临时申请案号61/106,076的优先权。本申请案和发明名称皆为"BORON NITRIDE AND BORON NITRIDE-DERIVED MATERIALS DEPOSITION METHOD” 的美国专利申请案号 11/7...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。