技术编号:7212856
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过处理液对半导体晶片或液晶显示装置用玻璃基板(以下,简称为基板)等的基板进行处理的基板处理装置,特别是涉及一种供给含有异丙醇等的有机溶剂的氮气等惰性气体来进行干燥处理的技术。背景技术 到目前为止,作为这种基板处理装置,列举了具有以下机构的基板处理装置处理槽,其存积处理液,收容基板,进行对基板的处理;腔室,其包围该处理槽的周围;升降支承机构,其支承基板,经位于处理槽内部的处理位置、和在处理槽的上方并位于腔室内部的待机位置进行升降;喷嘴,其安装...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。