技术编号:7212963
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般地涉及半导体集成电路设计领域,更特别地涉及非平面静态随机存取存储器单元设计。背景技术 集成电路设计决策经常由器件可扩展性和制造效率驱动。例如,单栅平面金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的尺寸减小经常导致减小的驱动电流,因为器件的宽度跟驱动相关。因此,研发了多栅非平面晶体管,例如双栅FET(例如鳍型FET(finFET))或三栅FET,以提供具有更快的驱动电流和减小的短沟道效应的缩放器件。FinFET是非平面晶体管,其中全耗尽沟道区在薄半...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。