技术编号:7213090
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及开关,更具体地涉及一种机械驱动和电耦合的开关。背景技术 近年来,随着移动通信系统的发展,便携式信息终端等迅速地广泛普及。例如,移动电话系统使用诸如800MHz至1GHz以及1.5GHz到2.0GHz的高频带宽。因此,高频开关被用于移动通信系统的设备中。存在对于减小尺寸和节省能量的高频开关的需求,而传统上使用的是含砷化镓(GaAs)等的半导体开关。但是,半导体开关能耗高且隔离度低。因此,高频微机电系统(MEMS)开关正通过使用MEMS技术而不...
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