技术编号：7213488
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜晶体管、使用该晶体管的显示板、以及它们的制造方法。背景技术 硅分为非晶硅或晶体硅。非晶硅可被沉积以在低温形成薄膜，并被广泛用作沉积在低熔点玻璃基板上的通道层。然而，薄膜非晶硅具有这样的缺点，如较低的场效应迁移率以及由此使其在大型显示器件中的应用受到限制。多晶硅具有较高的场效应迁移率、用于高频操作的优异特性以及低泄漏电流，对于这样的应用对该多晶硅需求日渐增加。多晶硅薄膜通常通过利用激光束结晶非晶硅薄膜和受激准分子激光器退火、连续横向结晶法(se...
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