技术编号:7215122
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体器件,更具体而言,涉及一种晶体管的制造方法,该晶体管可克服短沟道效应(SCE)。背景技术 通常,当形成半导体器件的晶体管时,硅衬底之上的栅极结构增高。为此,当器件尺寸按比例减小时,在限定栅极长度方面将会产生一些问题。此外,当形成轻掺杂漏极离子注入和源极/漏极离子注入时,分别需要进行掩模步骤。从而,增大了器件的制造成本。因此,需要发展一种可形成具有新的栅极结构的晶体管器件的技术。发明内容因此,本发明旨在提供一种,其基本上消除了由于现有技术...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。