技术编号:7220497
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于提供一晶片的电气组件的晶片工作台(wafertable),所述晶片可放置在所述晶片工作台的一转盘上,所述转盘可平行于晶片平面以离散的步幅精细地移动,使得所述组件到达一固定的拣取位置,所述拣取位置分配有至少一个固定的辅助装置。背景技术 例如EP0971390A中公开过这样一种晶片工作台。据此,一装配头可在两个给定的位置间平行于一基底进行直线移动,所述基底由一定时的带传送装置传送。所述晶片工作台设置于传送带附近,其具有一可沿x、y方向移动的十...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。