用于提供电气组件的晶片工作台和用于为基底配备电气组件的装置的制作方法技术资料下载

技术编号:7220497

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本发明涉及一种用于提供一晶片的电气组件的晶片工作台(wafertable),所述晶片可放置在所述晶片工作台的一转盘上,所述转盘可平行于晶片平面以离散的步幅精细地移动,使得所述组件到达一固定的拣取位置,所述拣取位置分配有至少一个固定的辅助装置。背景技术 例如EP0971390A中公开过这样一种晶片工作台。据此,一装配头可在两个给定的位置间平行于一基底进行直线移动,所述基底由一定时的带传送装置传送。所述晶片工作台设置于传送带附近,其具有一可沿x、y方向移动的十...
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