技术编号：7221899
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。所揭示的本发明大体上涉及集成电路制造、用于制造计算机存储器的技术以及遮掩 技术。 背景技术由于许多因素(包含现代电子设备中对提高的便携性、计算能力、存储容量以及能 量效率的需求)，集成电路的尺寸不断减小。为了有助于此尺寸减小，继续研究减小集 成电路的组成特征的尺寸的方法。所述组成特征的实例包含电容器、电触点、互连线以 及其它电气装置。减小特征尺寸的趋势(例如)在存储器电路或装置中是明显的，所述 存储器电路或装置例如是动态随机存取存储器(DRAM)、静态随机...
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