技术编号：7229895
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。,半导体器件及其制造方法本发明涉及一种具有通过使用激光晶化技术形成的晶体结构的半导体薄膜，以及一种包含该半导体薄膜的半导体器件例如薄膜晶体管(在下文，TFT)及其制造方法。更特别地，本发明涉及一种具有由激光晶化技术形成的特殊晶体结构的半导体薄膜，换句话说，彼此垂直的三个方向的晶粒的平面取向以等于或大于某个比例对准。本发明也涉及一种包含该半导体薄膜的半导体器件，及其制造方法。背景技术 近年来，已经广泛研究通过激光照射晶化在玻璃衬底上形成的非晶半导体薄膜以形成...
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