增强型和耗尽型垂直双扩散型场效应管单片集成制作工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:7233490

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本发明是一种用于在同一块IC上同时制作高压(650V)共漏的增强型和耗 尽型VDM0S的工艺方法,属于半导体制成。背景技术随着半导体技术的不断发展,开关电源电路的市场应用不断拓展。人们对资 源保护意识的不断增强。对于开关电源电路的集成度和功率损耗要求越来越严 格。为了适应低功耗设计,需要在电源输出的增强型的VDMOS (垂直双扩散金属 氧化物半导体)部分设计一个可以关断的耗尽型VDMOS。当电路上电时,电路工 作电压没有建立,增强型VDM0S处于关断状态,...
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