技术编号：7235443
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种表面发射激光器器件、表面发射激光器阵列、光学扫描仪、成像设备和用于制造表面发射激光器器件的方法。尤其是，本发明涉及一种在垂直于衬底前表面的方向发射激光的表面发射激光器器件和表面发射激光器阵列、具有表面发射激光器器件或表面发射激光器阵列的光学扫描仪、具有光学扫描仪的成像设备和用于制造在垂直于衬底前表面的方向发射激光的表面发射激光器器件的方法。背景技术在VCSEL (垂直腔表面发射激光器)中，在其应用方面抑制高阶横模的振荡是至关重要的。因此，已经...
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