技术编号:7237572
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在基板上集成形成有将多晶硅、微晶硅等作为活性层的薄膜晶体管的图像显示装置用的薄膜晶体管阵列装置、使用该薄膜晶体管阵列装置的EL显示面板以及EL显示装置。背景技术薄膜晶体管被使用于有机EL显示器、液晶显示器等显示装置的驱动基板,当前,盛行着面向高性能化的开发。特别是,在随着显示器的大型化、高精细化而对薄膜晶体管要求高电流驱动能力的情况下,在活性层使用结晶化的半导体薄膜(多晶硅、微晶硅)的方法受到关注。作为半导体薄膜的结晶化工艺,代替已经确立的采用1...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。