技术编号:7242979
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了。本发明在玻璃或者塑料的衬底上制备薄膜晶体管,采用掺铝的氧化锌半导体材料作为透明半导体导电的沟道层,在制备过程中采用独特工艺加入适量的氧气使掺铝的氧化锌呈现出半导体特性,并且显示出高迁移特性,有效的提高了薄膜晶体管的性能。本发明的制备方法步骤简单,制备成本低,对提高薄膜晶体管器件的性能具有积极效果,改善了器件性能,降低了制备成本。同时,氧化锌铝薄膜是环保材料,工艺简单,制备成本低,具有广泛的应用前景。专利说明[0001]本发明属于平板显示领域,...
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