技术编号：7243761
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种，包括步骤在衬底上形成深沟槽；对衬底表面进行表面预处理；对衬底进行加热处理；在衬底表面喷吐纯水进行预浸润；在衬底表面形成第一层光刻胶；对第一层光刻胶进行热回流。本发明通过在衬底表面涂胶后，对光刻胶软烤之前，增加一个对光刻胶进行热回流的工艺，由于热回流时光刻胶中溶剂成分较多，所以光刻胶的流动性较好，通过加热能使光刻胶产生回流，从而能够增加深沟槽的顶部边角处的光刻胶的厚度，能加强对沟槽顶部边角处的保护；能够在通过两次光刻刻蚀不同深度的沟槽工艺中...
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