技术编号:7244093
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种半导体结构,包括半导体衬底和位于半导体衬底上方的至少两个半导体鳍片,其中所述至少两个半导体鳍片的方向相互平行;以及所述至少两个半导体鳍片相互平行的侧面的晶面互不相同。本发明还提供一种用于制造上述半导体结构的方法。本发明提供的技术方案具有如下优点通过改变部分衬底的晶向,可以在衬底表面上形成平行的,具有不同侧面晶面的两种半导体鳍片;所述两种半导体鳍片侧面晶面分别为{100}和{110},分别被用于形成NMOS和PMOS器件,有利于提高CMOS电路...
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