技术编号:7245636
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供,先于半导体衬底表面形成发光外延层及透明导电层,并对该透明导电层进行退火;然后刻蚀出N电极制备区域,并在所述透明导电层欲制备P电极的区域形成一刻蚀窗口;接着于所述刻蚀窗口制作反射镜;最后制作P电极,使该P电极覆盖所述反射镜表面并与所述透明导电层形成欧姆接触接触,并于所述N电极制备区域制备N电极。本发明具有以下有益效果在P电极下制备高反射层,使得发光区所产生的光子,几乎全部反射回去,很少被P电极吸收,从而提高LED芯片的出光效率。专利说明[0001...
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