技术编号：7252873
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于沉积工艺的电极，该电极包括主体部，安装在该电极的下部并且连接至外部电源；和头部，整体地形成在该主体部的上部并且联接至待接受沉积的对象，其中该主体部和该头部在锻造工艺中形成在一起。本发明还涉及一种用于制造该电极的方法。根据本发明，大大降低了制造成本，并且可以提高导电性和耐热性。专利说明[0001]本发明涉及用于气相沉积工艺的电极及其制造方法。更具体地说，本发明涉及用于被用来气相沉积多晶硅的气相沉积工艺的电极及其制造方法，其中多晶硅用于制造太...
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