Cmos图像传感器及其制备方法技术资料下载

技术编号:7256001

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本申请提供了一种CMOS图像传感器及其制备方法。该CMOS图像传感器包括半导体衬底,内部形成有多个光电二极管;介电层,形成在半导体衬底上;反光层,形成在介电层上;绝缘层,形成在反光层上;平坦化层,形成在绝缘层上;微透镜,形成在平坦化层上;多个滤光片设置槽,形成在介电层、反光层、绝缘层中相应于各光电二极管的位置;以及多个滤光片,一一对应地设置在各滤光片设置槽中。该CMOS图像传感器通过在介电层上设置反光层,避免了杂散光与衍射线串扰进入相邻的光电二极管中,使得...
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