技术编号:7263326
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种,其中,鳍式场效应晶体管的形成方法包括提供基底,在基底上形成有鳍部;在鳍部表面选择性生长拓扑绝缘体层;形成栅介质层,栅介质层覆盖拓扑绝缘体层,形成横跨栅介质层的第一栅极;分别去除鳍部两端的栅介质层和拓扑绝缘体层,在暴露的鳍部表面形成具有掺杂的外延层,外延层与第一栅极之间为剩余的栅介质层和拓扑绝缘体层所隔开,鳍部两端具有掺杂的外延层分别作为源极、漏极。在源极与漏极之间施加电压,拓扑绝缘体层表面导通,拓扑绝缘体层表面作为沟道区;在栅极与源极之间施加电压,该...
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