技术编号：7281414
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具备防水功能的端子板组件，尤其涉及适用于具有一个以上端子的端子板的防水型端子板组件，所述端子用于电连接冷却型线性电动机中的线圈与外部电路。背景技术 在半导体制造装置或液晶制造装置中，作为用于安装工件确定其位置的定位装置的驱动源，线性电动机的需求增大。但是，线性电动机中线圈是不可欠缺的，线圈不可避免地要成为发热源。因此，需要严格的温度管理的装置、例如分档器等所使用的线性电动机中线圈的冷却结构不可欠缺。具有线圈冷却结构的线性电动机称为冷却型线性电动机...
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