技术编号：7293460
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于纳米测量与纳米加工。具体涉及一种通过改变永磁体在磁场中的位置来改变超磁致伸缩棒的驱动磁场强度的“磁-磁变换”微驱动装置与方法。背景技术 在纳米，无论是纳米测量技术还是纳米加工技术，纳米微驱动都是其中的核心技术之一。目前在学术和工程领域研究及应用的微驱动技术主要有以下几种类型电热式微位移驱动器，电磁式微位移驱动器，压电伸缩驱动器，形状记忆合金(SMA)制动器和超磁致伸缩技术等。其中超磁致伸缩技术一般是通过螺线管线圈产生驱动磁场，利用磁致伸缩效应控制...
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