技术编号：73311
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及用于扫描探针显微镜的带有悬臂、在悬臂的一端的保持元件和在悬臂 的另一端的传感器尖端并且带有从传感器尖端突出出来的至少部分地成圆柱形的EBD扫 描尖端的SPM传感器，并且也涉及用于生产这种传感器的方法。背景技术扫描探针显微镜是众所周知的，并且在实际中与精准的传感器一起用于在原子分 辨率的水平上对样品表面进行扫描。扫描探针显微镜(SPM)也包括同样地是众所周知的原 子力显微镜(AFM)和扫描隧道显微镜(STM)。扫描探针显微镜使用包括此后称为悬臂的微 悬臂的传感器，该微悬臂在它的一端具有保持元件而在另...
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