技术编号：7493611
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种换能器，尤其是涉及一种基于微机电系统(MEMS)技术，主要应用于 环境中的低频振动能量收集，还可用于惯性传感器、加速计、陀螺仪、作动器等的平面振动 双螺旋压电换能器。 背景技术目前广泛研究的换能器从工艺制备上分为非MEMS换能器与MEMS换能器。采用MEMS 工艺的换能器在收集环境中低频振动中的有效能量时，换能器较高的固有频率与环境中低频 振动源的匹配性，是制约器件得以实现的关键问题。解决这一问题的途径之一，是通过压电 材料与硅微机械结构的耦...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。