高屏蔽性声表面波滤波器的制作方法技术资料下载

技术编号:7521201

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本发明涉及集成于压电晶体材料上的声表面波带通滤波器,特别涉及一种采用特殊屏蔽条结构的具有高屏蔽性的声表面波滤波器。背景技术当电压加载在具有压电特性的基片材料的电极上,会在压电体材料的晶格中形成机械形变。当加载在压电晶体材料电极上的电压为输入的电信号,会在压电晶体材料表面的晶格中形成声表面波,该声表面波是一种在压电晶体材料表面传播,振幅随深入基片材料深度的增加而迅速减少的弹性机械波。声表面波滤波器的基本结构是在压电特性的基片材料上通过半导体工艺形成交叉成对的...
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