技术编号：7540387
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明所公开的实施例通常涉及一种用于实现电源的技术，更特别地是涉及一种用于实现感应耦合的等离子射频(RF)电源的系统和方法。 背景技术对于当代的电子分析设备的设计者和生产者而言，实现用于实现分析仪器 的有效方法具有重要意义。然而，使用电子设备有效地执行分析过程对于系统 设计者而言提出了重大的挑战。例如，对增加设备功能和性能的高要求需要更 多的系统功能并且需要其他的硬件资源。由于生产成本增大、操作效率低，功 能或者硬件要求的提高也导致了相应的不利经济影响。此...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。