改良的共振器的制造方法技术资料下载

技术编号:7544783

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本发明提供了一种具有闭合反馈阻尼回路的机械共振器(30)。所述机械共振器中的位移被由所述闭合反馈回路决定的阻尼力阻止,所述闭合反馈回路包括具有相关的相位调节的信号处理滤波器(33)。本发明实现了允许高的信号放大率的无振荡构造。专利说明改良的共振器 [0001] 本发明涉及机械共振器,且特别地,涉及如在独立权利要求的前序部分中所定义 的控制元件、机械共振器和该机械共振器的操作方法。 背景技术 [0002] 微机电系统(MEMS)可以被定义为小型化的...
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