技术编号：7766410
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体涉及微机电系统(MEMS)麦克风，更具体地，涉及对MEMS麦克风的背板 的谐振频率的控制。背景技术微机电系统(MEMQ是使用与制造传统模拟和数字CMOS电路所使用的步骤相同类 型的步骤(例如材料层的沉积和材料层的选择性去除)来制造的麦克风装置。一种类型的MEMS是麦克风。电容性MEMS麦克风使用响应于压力变化(例如声 波)而振动的薄膜(或隔膜)。薄膜是跨过衬底中的开口而悬置的薄材料层。麦克风通过 测量薄膜变形的变化来将压力变化转换为电信号。薄膜的...
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