微机电麦克风装置制造方法技术资料下载

技术编号:7786299

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一种微机电麦克风装置,包含基板、支撑座、麦克风晶片以及信号处理晶片。基板具有第一面。支撑座设置于第一面,且具有顶面。麦克风晶片设置于第一面上,且具有第一电路接点。信号处理晶片设置于支撑座之顶面,且具有第二面以及第二电路接点。第二面面对顶面。第二电路接点位于于第二面,且第二电路接点耦接第一电路接点。专利说明微机电麦克风装置[0001 ] 本实用新型是关于一种微机电装置,尤指一种微机电麦克风装置。背景技术[0002]现有的微机电(Microelectromec...
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