技术编号：7965418
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及发送和接收超声波的变换器(transducer)，尤其涉及以硅为基体材料的振膜(diaphragm)型超声波变换器。背景技术 支撑20世纪后半期的超声波技术的巨大发展和普及的是以PZT(钛酸锆酸铅)系压电陶瓷为代表的、具有大且稳定的压电性的压电材料和利用此材料的压电变换器、以及与此压电变换器很好地匹配的半导体发送接收电路的进步。20世纪初期，人们通过利用19世纪后半期居里兄弟发现的压电现象开始尝试接收和发送超声波。可是，他们发现压电现象的水晶，虽然具有当前用于时钟上的水晶一样稳定的压电特性，但是由...
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