多晶硅原料低能耗提纯制备方法技术资料下载

技术编号:8009038

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技术领域本发明涉及一种降低太阳能电池多晶硅原料提纯能耗的方法,特别涉 及一种。背景技术国际上电子级高纯(>11N)多晶硅原料制备的主流技术是西门子法即三 氯氢硅(SiHCl3)还原法和硅烷(SiH4)热分解法,该工艺利用干燥氯化氢在沸腾床中与冶金硅粉反应Si(s)+3HCl(g)-SiHCl3(g)+H2(g)(放热)生成的SiHCl3与PCl3和BCl3在相对挥发度上有较大差异(它们的沸点 分别为31. 8°C, 74。C和13t,能有效地用精馏提纯。最后在110(TC用H2 还原SiHCl3,是前面氯化反...
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