技术编号：8019783
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种采用电热辐射管进行辅助加热的离子轰击炉。目前的现有技术中，电阻辅助加热离子轰击炉包括炉盖、炉壁及底座组成的真空腔，真空腔内壁设有保温层，辅助加热电阻发热元件，阳极，真空腔中间设有阴极工作台，辅助加热电阻发热元件接有经变压器降压后的交流电源对工件进行辅助加热，阳极及阴极工作台间接入辉光电源，真空腔中充入稀薄气体后在辉光电源电场作用下气体发生电离，正离子在电场作用下轰击与阴极工作台相连的工件将工件加热并产生辉光，同时在工件表面产生活性粒子对工件进行表面处理。现有技术的主要缺点是(1)炉壁夹层与...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。