一种多晶氧化锌薄膜材料的制备方法技术资料下载

技术编号:8030679

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技术领域本发明属于化合物半导体纳米薄膜材料的制备技术,具体涉及。背景技术 氧化锌作为一种直接带隙宽禁带半导体材料,在透明光电子学、半导体发光等领域有着巨大的潜在应用。氧化锌材料与氮化镓晶格常数比较相近,因此氧化锌可作为一种很好的衬底缓冲层材料,用于生长氮化镓薄膜。然而,氧化锌材料相对于氮化镓材料,更具有优越性。首先氧化锌材料更容易实现单晶生长,其次氧化锌材料具有更大激子结合能。由于氧化锌的宽禁带特性,它在蓝一紫光、绿光、白光发光器件的制备有着广泛的应用。氧化锌材料具有很好的抗高能辐射的能力,因此它在空间技术领域有着...
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