一维纳米材料器件制造方法技术资料下载

技术编号:8034319

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技术领域本发明涉及纳米器件制造方法,尤其涉及。背景技术在纳米科技的领域里,人们已经掌握了很多非常有用的纳米材料的合成方法,如碳纳米管、硅纳米线、氧化锌纳米线等等,这些一维纳米材料在很多领域都有可能走向应用,例如场效应晶体管、传感器以及原子力显微镜的针尖等。以碳纳米管为例,现有的在原子力显微镜针尖上组装碳纳米管的方主要有(1)在光学显微镜下操纵针尖从碳管中取出一束或一根;(2)在原子力显微镜下用针尖直接操纵碳管进行组装;(3)在针尖上直接生长碳管。例如,目前有一种在原子力显微镜针尖上采用化学气相沉积法直接生长碳纳米管...
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