技术编号:8036108
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及布线基板、半导体器件和它们的制造方法、电路板和电子仪器。根据以往的方法,为了进行蚀刻,光刻工序是必要的,因此,需要掩模。并且掩模的成本很高。另外,为了导电材料的填充或电镀,需要形成较大的导通孔,所以成为布线结构的高密度化的障碍。另外,当对导通孔进行电镀,形成通孔时,在其内侧形成了空间,所以必须要设法除去水分。另外,当叠层3层以上的基板后,采用机械方式形成导通孔时,在中间层的基板上无法形成导通孔。(1)本发明的布线基板的制造方法包括形成第一导电层;形成绝缘层,使至少其一部分配置在第一导电层上;形成第...
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