技术编号：8041762
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型是为了满足离子源物理领域对其弧电源在引出高压电源系统投入或者打火时刻特殊要求的一种装置，具体涉及控制离子源弧电源输出电流在引出高压投入或打火时刻快速分流后迅速恢复的电流分流系统。背景技术在离子源引出离子束时，根据等离子体放电和引出高压之间的密切关系，在束流引出时为了得到更合适的导流系数，必须使弧流与引出高压相匹配，特别是在束流引出的初始时刻为了得到稳定的束引出至关重要，因此在高压建立的时刻需要进行弧打坑。其基本原理是弧电源输出电流基本稳定并流向负载的情况下，在等离子体电极电源开通时刻， 使弧电源输...
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