技术编号：8042430
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及成膜装置、成膜方法和有机EL元件，更详细的说，涉及有机EL元件包含的膜构造和用于形成上述膜构造的成膜装置和成膜方法。背景技术近年，利用采用有机化合物并使其发光的有机EUOrganic Electroluminescence)元件的有机EL显示器受到注目。该有机EL元件具有自身发光、反应速度快、消耗电力低等特征。因此，与液晶显示器相比影像不仅非常美丽，而且不需要背光灯，可为薄型，尤其期待应用在便携式机器的显示部等。有机EL元件形成于玻璃基板上，具有有机层由阳极层(正极)和阴极层(负极) 夹着的三明治...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。