技术编号：8046433
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及多晶硅铸锭炉的设计与制造技术领域，尤其涉及一种多晶硅铸锭炉热场及多晶硅铸锭炉。背景技术在多晶硅的铸造过程中，需要向多晶硅铸锭炉热场的坩埚中充入流动的氩气作为保护气，保护气经过坩埚的硅液表面时，会携带大量的硅蒸汽，其中包括如硅蒸汽、氧化硅等腐蚀性气体。同时，请参见图1，是现有的多晶硅铸锭炉热场的结构以及气体排放示意图， 由图可以看出，由于现有的多晶硅铸锭炉热场，坩埚与盖板有一定缝隙，从热场顶部的保温隔热顶板的进气孔注入氩气作为保护气使用后，在热场底部的保温隔热底板打开时排出。 这使得在保护气的使用以...
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