技术编号：8048086
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及单晶炉装置领域，尤其是指一种直拉式单晶炉的可调托晶盘装置。 背景技术直拉式单晶炉是生产太阳能电池用单晶硅和集成电路及单晶硅的的主要设备。随着太阳能电池硅材料的尺寸越来越大。以及集成电路对单晶材料的品质要求越来越高。 对与之相对应的单晶生长设备的自动化程度和长期使用的稳定性提出了更高的要求。托晶盘是直拉式单晶炉的必备部件，它直接影响副室在自动左右旋转的晶体炉上工作运行的平稳性和安全性能。中国专利曾公开了一种“带可旋转托盘的单晶炉”(中国，公告号 CN2764789Y，公告日2006年3月15日)，主...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。