技术编号:8053195
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及,更具体而言,涉及用于石墨烯生长的支架、支架组件、石墨烯薄膜生长组件,以及使用该支架、支架组件或石墨烯薄膜生长组件来生长石墨烯的方法和用途。背景技术石墨烯具有优异的机械、光学、热学、电学和磁学性能,有望在高性能纳米电子器件、复合材料、场发射材料、气体传感器、能量储存等领域获得广泛应用,近年来迅速成为材料科学和凝聚态物理领域的研究热点之一。2008年,美国科研人员发现用化学气相沉积法(CVD法)能在铜和镍基底上成功生长出大尺寸的石墨烯薄膜,从而使得石墨烯的大规模生产成为可能。CVD生长过程如图1所示...
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