用于扩散炉的碳化硅桨的制作方法技术资料下载

技术编号:8054718

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技术领域本实用新型专利涉及一种碳化硅桨,尤其涉及一种用于制作太阳电池硅片的扩散炉中的碳化硅桨。背景技术目前传统的扩散在太阳能电池片的制造过程中起着至关重要的作用,这个过程中在电池片内部形成的PN结是太阳能电池的心脏。要制造一个PN结,必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域,另一部分是N型区域,制作太阳电池的硅片是P型的,目前采用的方法是将硅片放入石英器件中,通入含磷的气体,在有磷渗透的一面就形成了 N型, 在没有渗透的一面是原始P型的,这样就达到了在硅片内部形成了所要的PN结。扩散过程中硅片放置于石英舟中,再...
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