技术编号：8070686
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明提供一种，该石英坩锅脱模阻隔剂包含99wt%以上的氮化硅(Si3N4)，以及小于1wt%的杂质，又在氮化硅(Si3N4)中，β相的氮化硅所占的比例为60%～99%，该方法包含混合步骤、喷涂步骤以及成膜步骤，将多个脱模阻隔剂的粉末与水充分混合成悬浮溶液、接着喷涂在石英坩锅的表面，最后行烘烤，将石英坩锅的表面的水分去除，使所述脱模阻隔剂的粉末在该石英坩锅的表面形成一脱模层，藉由采用高含量的β相的氮化硅(Si3N4)，能在高温时具有稳定的结构，而使得脱模层不易裂解，同时也避免了石英坩锅中的杂质扩散至多晶硅中...
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