技术编号：8095080
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于，包括舟架、挡板和横梁，所述舟架为长方形，在其一端设置有挂鼻，所述挡板固定在挂鼻与舟架交界处，挡板上设置有若干通孔；每两个相邻所述横梁为一组硅片座，在每一组硅片座的横梁内侧相对设置有弧形卡槽。本发明可使硅片横向放置在舟架上，保证气体顺畅流通，提高了硅片扩散效率和质量；每两个相邻横梁上都可以放置硅片，提高了单个石英舟盛放硅片的数量；通过挡板与三角形挂鼻的配合，方便石英杆对石英舟的推拉操作。专利说明用于硅片扩散的石英舟 技术领域 [0001] 本发明涉及一种硅片扩散工艺中...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。