技术编号：8127913
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种单晶炉使用的坩埚驱动装置，具体的是用直拉法生长单晶的单 炉，特别是拉制大尺寸、高品质单晶的单晶炉使用的坩埚驱动装置。技术背景直拉单晶炉是生产太阳能电池用单晶硅和集成电路用单晶硅的主要设备。随着太阳能 电池硅材料的尺寸越来越大，以及集成电路对单晶材料的品质要求越来越高，对与之相对 应的单晶生长设备的自动化程度和长期使用的稳定性提出了更高的要求。在用直拉法生长单晶的过程中，要将多晶料置于石英坩埚中，经过高温加热使其溶化 为多晶硅溶液，籽晶由顶部降下至多晶硅溶液中，控制液面的温度，使多晶溶液在籽...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。