技术编号：8138470
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及运用于等离子体处理腔的射频功率供应装置，尤其是指，一种能实现在多频率的射频功率之间切换应用的射频功率供应装置。背景技术运用双重射频频率输入的等离子体处理腔在现有技术中被熟知。通常，双重射频频率输入的等离子体处理腔接受频率在大约15MHz之下的偏置射频功率和具有更高频率 (通常40MHz-200MHz)的等离子体源射频功率。在本文中，偏置射频功率指用于控制等离子体离子能量和离子能量分布的射频功率。等离子体源射频功率指用于控制等离子体的离子解离或等离子体密度的射频功率。作为一些具体例子，在现有技术中，...
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