高温炉发热体的制作方法技术资料下载

技术编号:8151816

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技术领域高温炉发热体所属技术领域[0001]本实用新型涉及熔体籽晶法单晶生长设备,尤其涉及一种高温炉发热体。技术背景[0002]目前国内外发热体单晶生产设备所采用的发热体布局基本采用鸟笼式编织结构, 此种发热体虽可实现轴向温度梯度,但由于结构所限造成钨发热体长度不一致,而且高温端空间排列存在热节和冷区,不能保证高温端热场的周向均勻性,并且操作工艺复杂,维护成本高。实用新型内容[0003]本实用新型的目的就是针对上述现有发热体单晶生产设备技术的不足,提供一种高温炉发热体,将若干根钨棒加工成形状为“弯折U形”,并将“弯...
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