技术编号：8153743
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于气体放电技术领域，涉及一种放电等离子体的阵列产生装置。背景技术非热平衡态等离子体因其重粒子与气体的温度接近室温，不会损坏待处理试品，而电子可在电场中加速获得足够高的能量，并能在室温下与气体分子撞击发生激发、游离、解离、结合或再结合等反应，生成大量电子、离子、激发态原子、分子及自由基等极活泼的反应性物种，因此非热平衡态等离子体在各个应用领域上都表现出独特的技术优势和良好的应用前景。 大气压等离子体射流作为一种新型的产生非热平衡态等离子体源，相比其他传统的低温等离子体产生方法如平板介质阻挡放电、空心阴...
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