技术编号:8155102
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种放电电极,尤其涉及一种电场极化增强的放电电极。背景技术等离子体是由带电粒子、基态中性粒子、亚稳态中性粒子和激发态中性粒子组成的,其物质输运过程、能量输运过程、电磁辐射过程和带电粒子动量转移过程在许多领域有重要应用,例如等离子体材料加工、激光光源、等离子体混合、电子-离子源、等离子体控制等。利用气体放电产生等离子体是一种最为常见的等离子体产生方法,具有装置简单、等离子体参数可控性较高等优势。气体放电一般是指在电场作用下使气体电离,形成能导电的电离气体,即等离子体。常规的做法是在一对电极(阴极和阳...
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