技术编号：8170777
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及多晶硅铸锭炉技术领域，尤其是多晶硅铸锭炉热场保温技术领域。技术背景 多晶硅铸锭炉隔热笼包括顶板、底板和四周的侧板,且隔热笼侧板分为上下两部分和内外两层，隔热笼上部分内侧隔热板离侧面加热器较近且隔热板为石墨碳毡材料，长时间高温烧烤后隔热板会出现严重粉化；当隔热笼侧板上下运动时，侧板与顶板书摩擦使粉化的石墨粉滑落。长此下去侧面内侧隔热板就会变薄，进而影响隔热笼的整体保温效果，导致运行时加热功率増加和热场的温度梯度出现不均匀，从而导致硅锭长晶时出现阴影。滑落的石墨粉进入粉化的硅液中，使硅锭的碳化物严...
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