技术编号:8174183
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域新型多晶炉锁扣装置技术领域本实用新型涉及多晶硅锭的制造装置,特别涉及一种新型多晶炉锁扣装置。背景技术多晶炉是多晶硅料转化为多晶硅锭工艺过程中的必备设备,而多晶硅锭经工艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。现有的多晶炉其上腔体和下腔体的锁扣装置采用手动定位的方式,没有量化的反馈信号,操作困难,容易造成定位不准确,密封性能差等现象。发明内容鉴于此,有...
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