一种双轴微角摆平台柔性约束结构的制作方法技术资料下载

技术编号:8181734

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技术领域本发明涉及一种微角摆平台约束结构,具体涉及一种双轴微角摆平台柔性约束结构。背景技术目前,微角摆平台在微电子技术、生物工程、航天工程等领域有着日益重要而广泛的应用。其特征是具有较小的角度调节范围和极高的转角分辨率,并且往往还要求具有体积小,重量轻,响应速度高。传统的约束方式是采取万向节支架,万向节支架虽然可以进行大角度范围的调节,但是调节精度低,频带窄,响应慢。而基于柔性铰链的约束方式具有零摩擦、零间隙的固有特征,可实现亚微弧度的转角分辨率。实际应用中往往要求微角摆平台快速偏转时具有较高的响应速度,但该响应速...
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